一、项目介绍：

微机电系统（MEMS）具有体积小、重量轻、成本低、可靠度高等特点，在航空、航天、汽车、消费电子等领域具有广阔应用价值。MEMS设计过程复杂，高效的设计工具现已成为制约我国MEMS产业发展的关键。设计工具分为系统级、器件级、工艺级三个设计层级，并具有三个层级之间的全部数据传递接口，支持不同工程背景的设计者任意入口，任意流程的设计，该设计工具满足大多数机电耦合类MEMS器件的设计和仿真。

相关成果获发明专利11项，并获国家技术发明二等奖。

二、适用范围：

适用于多种MEMS器件的开发，如惯性MEMS、光学MEMS、RF MEMS。